08.09.2004 DK PA200401354 24.09.2004 US 60/612,520
Реферат
Настоящее изобретение относится к нановпечатывающему штампу, предназначенному для впечатывания миллимикронных (нано) и миллиметровых структур. Гибкий нановпечатывающий штамп 1 имеет основную деталь и первую, и вторую впечатывающие части 2, 3, первая и вторая впечатывающие части имеют литографический рисунок 7, предназначенный для впечатывания в воспринимающую рисунок подложку. В первом аспекте первая и вторая впечатывающие части 2, 3 могут независимо смещаться в направлении, практически параллельном направлению впечатывания впечатывающего штампа. Во втором аспекте первая и вторая впечатывающие части 2, 3 механически слабо связаны в направлении, практически параллельном направлению впечатывания впечатывающего штампа. Штамп ограничивает влияние дефектов в подложке, запечатываемой литографическим рисунком 7, или на ней и дефектов в штампе или на нем, и любых сочетаний таких дефектов путем локализации изгиба штампа в основную деталь 5 между впечатывающими частями 2, 3. Технический результат направлен на создание гибкого штампа для НВЛ, который может ограничивать влияние дефектов в подложке. 3 н. и 28 з.п. ф-лы, 7 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента