|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| КОМПОЗИЦИЯ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЗИТИВНОГО ЭЛЕКТРОННО - И РЕНТГЕНОРЕЗИСТА |  |
Номер публикации патента: 2044340 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G03F007/039 | | Аналоги изобретения: | 1. Авторское свидетельство СССР N 721794, кл. G 03F 7/039, 1978. |
| Имя заявителя: | Булгакова Светлана Александровна | | Изобретатели: | Семчиков Ю.Д.
Семенов В.В.
Булгакова С.А.
Ладилина Е.Ю.
Новожилов А.В.
Корсаков В.С.
Максимов С.И. | | Патентообладатели: | Булгакова Светлана Александровна |
Реферат | |
Использование: в электроннолучевой литографии и микроэлектронике. Сущность изобретения: композиция для получения позитивного электронно- и рентгенорезиста содержит 8 15 мас. полиметилметакрилата с мол. м. 125000 439000 и молекулярно-массовым распределением 1,5 1,85, полученный в присутствии 0,5 1,5 мас.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента