|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| НЕСТЕХИОМЕТРИЧЕСКАЯ КЕРАМИЧЕСКАЯ МИШЕНЬ ИЗ NiO |  |
Номер публикации патента: 2310012 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/08 C23C014/34 C04B035/01 G02F001/15 | | Аналоги изобретения: | US 4107019 А, 15.08.1978. RU 2139839 C1, 20.10.1999. FR 2793888 A, 24.11.2000. JP 1256036 C1, 12.10.1989. |
| Имя заявителя: | СЭН-ГОБЭН ГЛАСС ФРАНС (FR) | | Изобретатели: | ФАНТОН Ксавье (FR)
ЖИРОН Жан-Кристоф (DE) | | Патентообладатели: | СЭН-ГОБЭН ГЛАСС ФРАНС (FR) |
Реферат | |
Изобретение относится к керамической мишени, которая предназначена для применения при осаждении пленок в распылительных установках, в частности, при магнетронном распылении. Предложена керамическая мишень на основе оксида никеля NiOx, в котором содержится меньше кислорода, чем в оксиде никеля, соответствующем стехиометрическому составу.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента