|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ТОНКОПЛЕНОЧНАЯ ПРИВОДИМАЯ В ДЕЙСТВИЕ ЗЕРКАЛЬНАЯ МАТРИЦА И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2140722 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H04N009/31 H04N005/74 G02B026/08 G02F001/29 G09F019/16 G09F019/18 | | Аналоги изобретения: | JP 60021002 A, 02.02.85. US 5085497 A, 04.02.92. JP 5701781 A, 26.01.82. JP 57052021 A, 27.03.82. EP 0550022 A2, 23.12.92. Лабунов В.А. и др. Ионно-лучевые источники для обработки поверхности твердых тел и получения тонких пленок. Зарубежная электронная техника. - М.: Министерство электронной промышленности, 1982, с.9-14. |
| Имя заявителя: | Дэу Электроникс Ко., Лтд. (KR) | | Изобретатели: | Джеонг-Беом Джи (KR)
Донг-Кук Ким (KR)
Сеок-Вон Ли (KR) | | Патентообладатели: | Дэу Электроникс Ко., Лтд. (KR) | | Номер конвенционной заявки: | 93-22798 | | Страна приоритета: | KR |
Реферат | |
Предоставляется матрица из M x N тонкопленочных приводимых в действие зеркал для использования в оптической проекционной системе. Технический результат изобретения заключается в создании способа изготовления матрицы приводимых в действие зеркал, который обеспечивает высокую повторяемость и надежность путем использования тонкопленочной технологии. Матрица содержит матрицу из M x N тонкопленочных приводных структур. Каждая из тонкопленочных приводных структур включает один тонкопленочный слой индуцирующего перемещение материала, два электрода. Каждый из электродов расположен на верхней и нижней соответственно поверхностях тонкопленочного индуцирующего перемещение слоя. Матрица включает M x N поддерживающих элементов. Каждый из поддерживающих элементов используется для фиксации соответствующей из приводных структур. Матрица из M x N зеркал предназначена для отражения световых лучей. Каждое из зеркал расположено на верхней поверхности соответствующей из приводных структур. Электрическое поле прикладывается к тонкопленочному слою индуцирующего перемещение материала, расположенному между парой электродов в соответствующей из приводных структур. При этом вызывается деформация, которая будет в свою очередь деформировать зеркало, расположенное на верхней поверхности материала. 4 с. и 29 з.п. ф-лы, 19 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента