WO 00/73839 A1, 07.12.2000. KR 20050100654 A, 19.10.2005. US 2004251906 A1, 16.12.2004. US 6912082 B1, 28.06.2005.
Имя заявителя:
КВАЛКОММ МЕМС ТЕКНОЛОДЖИС, ИНК. (US)
Изобретатели:
ЧАНГ Дэниел (CN) БОС Ян (CN) ГАНТИ Сурьяпракаш (US) КОТАРИ Маниш (US)
Патентообладатели:
КВАЛКОММ МЕМС ТЕКНОЛОДЖИС, ИНК. (US)
Приоритетные данные:
25.07.2007 US 60/951,930
Реферат
Оптическое электромеханическое устройство содержит проводящий оптический поглотитель, сформированный над подложкой, по меньшей мере одну поддерживающую структуру, которая сформирована над подложкой, проводящий деформируемый слой, сформированный поверх указанной по меньшей мере одной поддерживающей структурой, расположенный на расстоянии от проводящего оптического поглотителя и выполненный с возможностью электростатического отклонения в направлении оптического поглотителя, и проводящую шинную структуру, расположенную в оптически неактивной области электромеханического устройства и электрически связанную с указанным оптическим поглощающим слоем. Технический результат - упрощение изготовления в тех же производственных системах. 2 н. и 33 з.п. ф-лы, 23 ил., 2 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента