На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
МЕЗО - МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКАЯ СИСТЕМА, ИМЕЮЩАЯ СТЕКЛЯННЫЙ ЭЛЕМЕНТ И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ | |
Номер публикации патента: 2319182 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G02B026/08 | Аналоги изобретения: | RU 2096815 С1, 20.11.1997. WO 0046852, 10.08.2000. US 5579151, 26.11.1996. US 6075639, 13.06.2000. |
Имя заявителя: | МОТОРОЛА, ИНК. (US) | Изобретатели: | СЭЙВИК Джовика (US) ЭЛИЯСИН Манес (US) ЛЮ Цзюньхуа (US) ТАНГЕЙР Арун В. (US) | Патентообладатели: | МОТОРОЛА ИНК. (US) |
Реферат | |
Мезо-электромеханическая система (900, 1100) включает в себя подложку (215), опорный элемент (405, 1160), расположенный на поверхности подложки, первую электростатическую конфигурацию (205, 1105, 1110, 1115, 1120), расположенную на поверхности подложки, и стеклянный элемент (810). Стеклянный элемент (810) имеет закрепленную область (820), прикрепленную к опорному элементу, и имеет вторую электростатическую конфигурацию (815, 1205, 1210, 1215, 1220) на консольном местоположении стеклянного элемент
|