На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ИНТЕГРАЛЬНОЕ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОЕ ЗЕРКАЛО | |
Номер публикации патента: 2265871 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G02B005/08 G02B026/08 | Аналоги изобретения: | US 2004008400 A1, 21.01.2004. US 5959760 A, 28.09.1999. US 6873450 A, 25.01.2004. SU 1580305 A1, 23.07.1990. |
Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Таганрогский государственный радиотехнический университет" (ТРТУ) (RU) | Изобретатели: | Лысенко И.Е. (RU) | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Таганрогский государственный радиотехнический университет" (ТРТУ) (RU) |
Реферат | |
Интегральное микромеханическое зеркало содержит подложку с расположенными на ней четырьмя электродами, четыре дополнительных электрода емкостных преобразователей перемещения, расположенные на подложке таким образом, что образуют с зеркальным элементом плоский конденсатор и одну дополнительную пластину крепления, расположенную под зеркальным элементом непосредственно на подложке.
|