US 5360974 А, 01.11.1994. RU 2231095 C2, 20.06.2004. JP 3206994 A, 10.09.1991. KR 20040086183 A, 08.10.2004. EP 1353110 A2, 15.10.2003.
Имя заявителя:
ЗАО "Нанотехнология-МДТ" (RU)
Изобретатели:
Полторацкий Эдуард Алексеевич (RU) Редченко Владимир Викторович (RU) Соколов Дмитрий Юрьевич (RU)
Патентообладатели:
ЗАО "Нанотехнология-МДТ" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области нанотехнологии и направлено на обеспечение перемещения образца по трем координатам (X, Y, Z), в частности, для перемещения образцов, держателей образцов и других элементов в сканирующей зондовой микроскопии. Изобретение обладает расширенными функциональными возможностями за счет возможности исследования образцов с большими размерами и массой, а также обеспечивает быструю замену образцов при их жестком креплении к каретке, прецизионную повторяемость позиции каретки с образцом, что обеспечивается за счет того, что устройство подвижки образца содержит корпус, на котором посредством первых направляющих установлена первая каретка со вторыми направляющими, закреплены первый и второй пьезоприводы, сопряженные с первой кареткой. Вторая каретка с держателями образца установлена посредством вторых направляющих на первой каретке. В устройство введен, по меньшей мере, один дополнительный пьезопривод. Все пьезоприводы первыми концами сопряжены с корпусом, а вторыми концами с первой кареткой посредством шарниров и представляют собой первые направляющие. Вторая каретка установлена на первой каретке с возможностью съема с нее. 4 з.п. ф-лы, 9 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента