|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ЗОНДА СКАНИРУЮЩЕГО МИКРОСКОПА - НАНОЛИТОГРАФА В ПОЛЕ ГРУБОГО X - Y ПОЗИЦИОНЕРА |  |
Номер публикации патента: 2181212 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G02B021/32 | | Аналоги изобретения: | ЕР 740179 А1, 30.10.1996. ЕР 215162 А1, 25.03.1987. RU 2029976 С1, 27.02.1995. RU 95108587 А1, 20.08.1996. |
| Имя заявителя: | Государственный научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина | | Изобретатели: | Лапшин Р.В. | | Патентообладатели: | Государственный научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина |
Реферат | |
Изобретение относится к прецизионной измерительной технике и нанотехнологии и предназначено для использования в сканирующем зондовом микроскопе, в зондовом нанолитографе, зондовом запоминающем устройстве большой емкости. Техническим результатом изобретения является повышение точности и линейности позиционирования зонда на большой площади поверхности образца. Вначале движение выполняется посредством точного позиционера до момента достижения им границы своего диапазона. Затем производится поиск и привязка зонда к ближайшей особенности поверхности. После этого грубый позиционер выполняет перемещение в таком направлении, чтобы следующий за ним точный позиционер перемещался к противоположной границе своего диапазона. После достижения этой границы описанная выше последовательность действий повторяется циклически до момента прихода зонда в точку на поверхности, отстоящую от исходной на заданное расстояние. 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента