На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОПТИЧЕСКОГО ВОЛНОВОДНОГО УСТРОЙСТВА | |
Номер публикации патента: 2151412 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G02B006/138 | Аналоги изобретения: | Унгер Х.Г. Планарные и волоконные волноводы. - М.: Мир, 1980, с.243 - 251. EP 0420173 A2, 03.04.1991. EP 0687925 A2, 20.12.1995. WO 96/35971 A3, 08.05.1996. |
Имя заявителя: | САМСУНГ ЭЛЕКТРОНИКС Ко., Лтд. (KR) | Изобретатели: | Бюонг-Гвон Ю. (KR) Хьюнг-Джае ЛИ (KR) Тае-Хюнг РЕЕ (KR) Йонг-Ву ЛИ (KR) | Патентообладатели: | САМСУНГ ЭЛЕКТРОНИКС Ко., Лтд. (KR) | Номер конвенционной заявки: | 8200/1997 | Страна приоритета: | KR |
Реферат | |
Для изготовления оптического волноводного устройства на поверхности стеклянной подложки формируют первый слой оболочки, поверх которого формируют металлический слой. Путем избирательного травления металлического слоя формируют металлический шаблон для формирования в нем волноводной жилы. Затем в металлическом шаблоне формируют слой оптического полимера. Слой оптического полимера в свободных от металла участках металлического шаблона подвергают облучению ультрафиолетовым светом со стороны нижней поверхности подложки, что меняет его свойства. Волноводную жилу формируют путем удаления оставшейся части слоя оптического полимера, за исключением его облученной части, и металлического слоя. Поверх первого слоя оболочки и волноводной жилы формируют второй слой оболочки. Обеспечено упрощение процесса изготовления. 4 з.п. ф-лы, 9 ил.
|