|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ |  |
Номер публикации патента: 2097799 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G02B001/10 | | Аналоги изобретения: | SU, авторское свидетельство, 1054461, кл. C 30 B 23/02, 1983. |
| Имя заявителя: | Конструкторское бюро приборостроения | | Изобретатели: | Лазукин В.Ф.
Погорельский С.Л.
Сухоруких А.В.
Шипунов А.Г. | | Патентообладатели: | Конструкторское бюро приборостроения |
Реферат | |
Использование: для изготовления оптических покрытий в микроэлектронике и квантовой электронике. Сущность изобретения: при изготовлении каждого слоя покрытия подложку нагревают до температуры, не превышающей температуру разрушения и изменения структуры материалов подложки и предыдущих слоев покрытия, и охлаждают подложку со скоростью 0,3 - 2oC/с, преимущественно до температуры 50 - l00oC, а осаждение слоя покрытия ведут со скоростью 0,5 - 3 нм/с на охлаждаемую подложку в диапазоне температур, верхней границей которого является критическая температура конденсации осаждаемого материала, а нижней границей - температура, преимущественно 150 - 200oC. 3 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента