Изобретение касается датчика (10) для измерения интенсивности электронного луча, формируемого генератором электронного луча вдоль траектории в направлении мишени, находящейся в области мишени, причем электронный луч возбуждается генератором через выходное окно (24). Датчик (10) характеризуется тем, что содержит, по меньшей мере, одну область (26), по меньшей мере, одного проводящего слоя (28), расположенную на указанной траектории и подсоединенную к детектору тока, а также тем, что указанные области (26), по меньшей мере, одного проводящего слоя (28) по существу экранированы друг от друга, от окружающей среды и от выходного окна (24) экраном (32), который сформирован на выходном окне (24). Изобретение также относится к системе, содержащей указанный датчик. Технический результат - создание датчика для измерения электронного луча, для которого не требуется дополнительного пространства и который может являться интегрированной частью (т.е. выполненной за одно целое) выходного окна электрона. 2 н. и 17 з.п. ф-лы, 7 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента