Изобретение относится к сенсору (10) для получения данных об интенсивности электронного пучка, генерируемого с помощью генератора электронного пучка вдоль траектории, по которой электронный пучок выходит из генератора через выходное окно (24), а также относится к системе для получения данных об интенсивности электронного пучка. Изобретение отличается тем, что сенсор (10) содержит проводник (26), расположенный в пределах траектории и экспонируемый для выходного окна (24), и изолирующий корпус (28) для экранирования проводника (26), указанный корпус (28) зацепляется с выходным окном (24), образуя камеру (30) вместе с указанным выходным окном (24), и тем, что проводник (26) позиционируется внутри указанной камеры (30). Технический результат - экранирование проводника от воздействия плазмы. 2 н. и 17 з.п. ф-лы, 5 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента