|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ОТБРАКОВКИ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ |  |
Номер публикации патента: 2146827 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01R031/26 H01L021/66 | | Аналоги изобретения: | RU 2005308 C1, 30.12.1993. US 4816753 A, 23.03.1989. US 4768195 A, 30.08.1988. DE 2833780 A1, 21.02.1980. |
| Имя заявителя: | Воронежский государственный технический университет | | Изобретатели: | Горлов М.И.
Андреев А.В. | | Патентообладатели: | Воронежский государственный технический университет |
Реферат | |
Изобретение относится к области производства и эксплуатации интегральных схем (ИС). Способ отбраковки ИС, в том числе и на пластине, в соответствии с которым объект испытаний подвергают воздействию внешнего фактора, получают изменение информативного параметра, по величине которого делают вывод о годности объекта испытаний. На ИС подают единичный импульс электростатического разряда напряжением, составляющим половину опасного, затем производят отжиг дефектов при максимально допустимой температуре перехода в течение 24-48 ч. Техническим результатом является упрощение отбраковки ИС без внесения неконтролируемых дефектов и с использованием простой и безопасной температуры. 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента