|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ КОНТРОЛЯ МОП ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ И ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ НА ПЛАСТИНАХ |  |
Номер публикации патента: 2073254 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G01R031/26 | | Аналоги изобретения: | Патент США N 3723873, кл. 324-158, 1972. |
| Имя заявителя: | Московский инженерно-физический институт | | Изобретатели: | Попов В.Д.
Курин Ф.М.
Онопко Д.И.
Катеринич И.И.
Оспищев Д.А. | | Патентообладатели: | Московский инженерно-физический институт |
Реферат | |
Изобретение относится к электронной технике, а точнее к обеспечению надежности и высокого процента выхода годных полупроводниковых приборов и интегральных схем с МОП-структурой. Предлагается контроль МОП-полупроводниковых приборов и интегральных схем на пластинах с помощью включения операции "облучение - отжиг" между операциями выборочного и 100%-го контроля изделий, что позволяет выявить потенциально надежные изделия и отбраковать потенциально ненадежные изделия. В приведенном примере после операции "облучение - отжиг" повысился процент выхода годных изделий, а доля ненадежных изделий после 12000 ч ускоренных испытаний снизилась с 2 до 0%. 1 ил., 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента