На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
БЕСКОНТАКТНОЕ ЭЛЕКТРООПТИЧЕСКОЕ ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ СВЕРХБЫСТРОДЕЙСТВУЮЩИХ ТЕСТЕРОВ ИС | |
Номер публикации патента: 2066870 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | G01R031/28 | Аналоги изобретения: | 1. Hee-June Choi, Henley F., Barr R. Electro-optic sampling system with individual pulse measurement and voltage calibration', US patent application, ser. N 239,585, sept. 1988. 2. Henley F. Test head design using electro-optic receivers and GaAs pin electronics for a gigahertz production test system, 1988, International Test Conference, paper 34.2, pp.700-708. |
Имя заявителя: | Ангелова Лидия Анатольевна | Изобретатели: | Ангелова Лидия Анатольевна Кравченко Лев Николаевич | Патентообладатели: | Ангелова Лидия Анатольевна Кравченко Лев Николаеви |
Реферат | |
Изобретение относится к электрооптическим измерениям и предназначено для проведения тестового функционального и динамического контроля сверхбыстродействующих ИС. Измерительное устройство содержит пластину из электрооптического материала с металлизированными областями на поверхности, зондирующий импульсный лазер с устройством управления поляризацией, сканирующую оптическую систему, расположенную между пластиной и лазером, двухканальный анализатор, расположенный на пути отраженного от металлизированной области излучения, и приемно-усилительную систему с фотодетекторами, расположенными в обоих каналах анализатора. Фотодетекторы выполнены в виде линеек фотоприемных элементов, в каждый канал анализатора между анализатором и линейкой фотоприемных элементов дополнительно введен дефлектор с блоком синхронизации, вход которого функционально связан с импульсным лазером, а выходы электрически соединены с дефлекторами и фокусирующей оптической системой, расположенной между дефлектором и линейкой фотоприемных элементов. 2 з.п. ф-лы, 4 ил.
|