На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Вернуться к списку

ПЛЕНОЧНЫЙ ДАТЧИК СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЙ МОЩНОСТИ

Номер публикации патента: 94012373

Вид документа:  A1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  94012373

Реферат

Изобретение относится к радиоизмерительной технике и позволяет уменьшить нелинейность преобразования пленочного датчика сверхвысокочастотной мощности. Пленочный датчик содержит отрезок диэлектрического волокна 1, на котором расположены не перекрывающие одна другую ветви термопары 3 и 4, контактные площадки 2, резистивный слой 5, перекрывающий ветви термопары 3 и 4, слой диэлектрика 10, покрывающий резистивный слой 5, два низкоомных слоя 11,12, нанесенные над ветвями термопары 3 и 4 и на контактные площадки 2. Слои 11, 12 имеют переменную толщину и над контактными площадками 2 она равна (0,07-0,13) толщины отрезка диэлектрического волокна 1, а в остальной части-(0,0035-0,0065) толщины отрезка диэлектрического волокна 1. Ветви 3 и 4 термопары различаются по длине одна от другой в 2-4 раза и имеют суммарный коэффициент термоЭДС независящий от температуры. Отрезок диэлектрического волокна 1 изготавливается из материала, имеющего температурный коэффициент теплопроводности, изменяющийся в сторону, противоположную изменению температурного коэффициента теплопроводности материала, из которого изготовлены низкоомные слои 11, 12 и контактные площадки 2. В частном случае выполнения контактные участки ветвей термопары 3 и 4 расположены между отрезком диэлектрического волокна 1 и контактирующими участками 14 контактных площадок 2, резистивный слой 5 покрывает контактирующие участки контактных площадок, причем концы ветвей термопары 3 и 4 и все концы остальных слоев, расположенные над ветвями термопары, выполнены плавно нарастающими от нуля до соответствующей номинальной величины, а границы слоев не совпадают друг с другом. Предлагаемый пленочный датчик СВЧ-мощности имеет нелинейность преобразования до + 0,1%.

Вернуться к списку