RU 2285930 C1, 20.10.2006. SU 427499 A, 20.12.1974. US 7196532 B2, 27.03.2007. US 5506515 A, 09.04.1996.
Имя заявителя:
Закрытое акционерное общество "Научно-производственная фирма "Микран" (RU)
Изобретатели:
Ладур Александр Александрович (RU) Федотов Евгений Игоревич (RU)
Патентообладатели:
Закрытое акционерное общество "Научно-производственная фирма "Микран" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области электронной техники, а именно к устройствам для измерения электрических характеристик планарных элементов интегральных схем на полупроводниковых или диэлектрических пластинах. В устройстве согласно изобретению коаксиальный разъем с помощью гермоввода соединен с копланарной линией передачи, проводники которой зажаты между двумя диэлектрическими пластинами. Копланарная линия передачи и гермоввод расположены в корпусе. Одни концы проводников воздушной копланарной линии передачи соединены с проводниками копланарной линии передачи, другие ее концы выполнены усеченными, а диаметр гермоввода d находится в пределах: hdl, где l - ширина копланарной линии передачи; h - высота копланарной линии передачи. Изобретение обеспечивает улучшение воспроизводимости электрических характеристик, повышение надежности зонда и упрощение технологии его изготовления. 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента