WO 2008/002922 A2, 03.01.2008. WO 97/08733 A1, 06.03.1997. RU 2306524 C1, 20.09.2007.
Имя заявителя:
Гиваргизов Михаил Евгеньевич (RU)
Изобретатели:
Гиваргизов Михаил Евгеньевич (RU)
Патентообладатели:
Гиваргизов Михаил Евгеньевич (RU)
Реферат
Изобретение относится к материаловедению, в частности к прецизионному инструментарию для диагностики материалов различной природы, представленных в виде тонких пленок, и может быть использовано в микро- и наноэлектронике, материаловедении, биологии, медицине, биомолекулярной технологии. Установка включает сканирующий зондовый микроскоп, по крайней мере, одно сканирующее устройство, держатель объекта и, по крайней мере, одно средство обработки и передачи электрических сигналов. Сканирующее устройство выполнено в виде закрепленной на основании консоли, выполненной с возможностью поворота вокруг ее продольной оси и возможностью поворота вокруг вертикальной оси основания. На свободном конце консоли закреплена головка с, по крайней мере, одним держателем, выполненным в виде консоли, на свободном конце которого размещен многофункциональный блок с, по крайней мере, одним сканирующим элементом. Установка дополнительно снабжена, по крайней мере, одним приемным лотком для кассет со сканирующими элементами, по крайней мере, одним приемным лотком для многофункциональных блоков, и вакуумным пинцетом. Технический результат - обеспечение универсальности устройства, расширение диапазона размеров исследуемых объектов, повышение простоты и удобства в использовании. 8 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента