«Multifunctional probe array for nano patterning and imaging», Xuefeng Wang, Chang Liu, NANO LETTERS, 2005, v.5, 10, p.1867-1872. US 5986262 A, 16.11.1999. US 7022976 В1, 04.04.2006. «Ultracompliant thermal probe array for scanning non-planar surfaces without force feedback», Shamus McNamara, Amar S Basu, JooHyung Lee,Yogesh В Gianchandani, Journal of micromechanics and microengineering, Institute of physics publishing, v.15, 1, 2005, p.237-243. RU 2145055 C1, 27.01.2000.
Имя заявителя:
ИНФИНИТЕСИМА ЛТД (GB)
Изобретатели:
ХАМФРИС Эндрю (GB) КАТТО Дэвид (GB)
Патентообладатели:
ИНФИНИТЕСИМА ЛТД (GB)
Приоритетные данные:
31.10.2006 GB 0621560.2
Реферат
Комплект зондов для использования в сканирующем зондовом микроскопе содержит носитель, имеющий множество из по меньшей мере трех идентичных зондов и средство адресации. Каждый зонд имеет упругую опорную балку и головку, которая расположена на плоскости, которая является общей для множества головок зондов, и которая является подвижной относительно плоскости. Средство адресации содержит по меньшей мере один дополнительный слой, нанесенный на опорную балку, созданный из материала, отличного от материала опорной балки, с образованием таким образом многослойной структуры, содержащей по меньшей мере два слоя с различным термическим расширением. При этом средство адресации выполнено с возможностью выбора одного из множества зондов для относительного перемещения по отношению к большинству остальных зондов посредством нагревания многослойного материала с помощью удаленного источника света. Технический результат - повышение быстроты замены зондов, упрощение конструкции устройства. 3 н. и 26 з.п. ф-лы, 8 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента