RU 2356110 С2, 27.08.2006. Y.Fu et al. «TiNi-based thin films in MEMS applications: a review»/Sensors and Actuators A 112 (2004) p.395-408 [найдено 17.12.2010]. Найдено из Интернет: <URL:http://www3.ntu.edu.sg/mae/research/programmes/thinf-ilms/pdfpapers/sa04.р df>. US 5888371 A, 30.03.1999. JP 8170964 A, 02.07.1996.
Имя заявителя:
Государственное научное учреждение "Центральный научно-исследовательский и опытно-конструкторский институт робототехники и технической кибернетики" (ЦНИИ РТК) (RU)
Изобретатели:
Прядко Алексей Иванович (RU) Рогов Александр Владимирович (RU) Кириченко Виктор Валерьевич (RU) Пятышев Евгений Нилович (RU)
Патентообладатели:
Государственное научное учреждение "Центральный научно-исследовательский и опытно-конструкторский институт робототехники и технической кибернетики" (ЦНИИ РТК) (RU)
Реферат
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а именно, к устройствам, обеспечивающим наблюдение, изменение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах. Кантилевер для сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) состоит из основания, к которому прикреплена двухслойная балочка с расположенной на дальнем от основания конце иглой. Балочка выполнена из композитного материала, причем один из слоев выполнен из активного термочувствительного или магниточувствительного материала с эффектом памяти формы (ЭПФ), который чувствителен к внешнему воздействию, а другой слой является упругим. Кантилевер позволяет повысить производительность СЗМ за счет уменьшения непроизводительных затрат времени при проведении исследований. 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента