RU 2208763 C1, 20.07.2003. JP 2003-287488 A, 10.10.2003. JP 2000-356643 A, 26.12.2000. KR 100766407 B1, 12.10.2007.
Имя заявителя:
ЗАО "Нанотехнология-МДТ" (RU)
Изобретатели:
Соколов Дмитрий Юрьевич (RU) Кособродова Елена Анатольевна (RU)
Патентообладатели:
ЗАО "Нанотехнология-МДТ" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии, а именно к способам изготовления измерительных зондов. Сущность изобретения заключается в том, что в способе изготовления зондов на основе кварцевых резонаторов, включающем фиксацию кварцевого резонатора, имеющего по меньшей мере одно плечо, при помощи первого держателя, нанесение клея на плечо кварцевого резонатора и осуществление контакта между плечом кварцевого резонатора и первым концом иглы в зоне нанесения клея с последующей ориентацией, перед осуществлением контакта проводят принудительную ориентацию иглы по трем координатам, которую уточняют и сохраняют в процессе склеивания. Технический результат изобретения состоит в расширении функциональных возможностей измерительных зондов и увеличении их надежности. 7 з.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента