Общество с ограниченной ответственностью "Нанотек-Дон" (RU)
Изобретатели:
Чеботарев Сергей Николаевич (RU) Ирха Владимир Александрович (RU)
Патентообладатели:
Общество с ограниченной ответственностью "Нанотек-Дон" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии. Способ изготовления СЗМ-наносенсоров основывается на методе электрон-стимулированного роста и осуществляется в три стадии. На кремниевом или металлическом держателе-основании электронным лучом из кремнийсодержащего газа-прекурсора формируют V-образный силиконовый кантилевер, на остром конце которого таким же образом из углеродсодержащего газа-прекурсора снизу наращивают сенсорный элемент и сверху формируют карбоновое плато, на котором из золотосодержащего газа-прекурсора с помощью электронного пучка наращивают светоотражающее покрытие. Технический результат - повышение гибкости кантилевера, упрощение технологии процесса изготовления.
Поиск патентов
Получить полное описание патента