WO 2008029562 A1, 13.03.2008. EP 1360538 B1, 10.11.2004. EP 839312 B1, 13.08.2003. EP 1519388 B1, 16.08.2006.
Имя заявителя:
ДЖАПАН САЙЕНС ЭНД ТЕКНОЛОДЖИ ЭЙДЖЕНСИ (JP)
Изобретатели:
КАВАКАЦУ Хидеки (JP) КОБАЯСИ Даи (JP)
Патентообладатели:
ДЖАПАН САЙЕНС ЭНД ТЕКНОЛОДЖИ ЭЙДЖЕНСИ (JP)
Приоритетные данные:
12.05.2008 JP 2008-124891
Реферат
Устройство АСМ с динамическим режимом содержит сканнер 3 для выполнения трехмерного относительного сканирования консоли 2 и образца 1; средство 8 для генерации сигнала переменного тока резонансной частоты в моде с колебаниями изгиба консоли 2; средство 9 для возбуждения колебаний изгиба консоли 2 с резонансной частотой; средство 10 для генерации сигнала переменного тока второй частоты, которая ниже упомянутой частоты колебаний изгиба; средство 11 для модуляции расстояния зонд 2А - образец 1 консоли 2 посредством второй частоты; средство 5 для детектирования флуктуации резонансной частоты; средство 4 для детектирования вибрации консоли; средство 6 для детектирования компонента флуктуации, который содержится в детектированном сигнале, с помощью средства 5 для детектирования флуктуации резонансной частоты, и который синхронизирован с сигналом модуляции расстояния зонд 2А - образец 1. Наклон резонансной частоты относительно расстояния зонд 2А - образец 1 получается из мощности и полярности упомянутого компонента флуктуации. Технический результат - повышение скорости идентификации атомов поверхности. 5 з.п. ф-лы, 15 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента