R.Wiesendsger, H.-J.Guntherodt "Scanning Tunneling Microscopy II", Springer Series in surface sciences, V.28, pp/1-49, 1992, Berlin-Budapest;. RU 2251071 C2, 27.04.2005. RU 42695 U1, 10.12.2004. CN 1305191 A, 25.07.2001.
Имя заявителя:
Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский физико-химический институт имени Л.Я. Карпова" (RU)
Изобретатели:
Касаткин Эдуард Владимирович (RU) Маркина Мария Вячеславовна (RU) Трофимова Елена Викторовна (RU) Стрючкова Юлия Михайловна (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский физико-химический институт имени Л.Я. Карпова" (RU)
Реферат
Изобретение относится к электроизмерительной технике и предназначено для использования в зондовых сканирующих устройствах. Способ изготовления игл состоит в подборке режимов электрохимического травления в растворе электролита проволоки-заготовки из вольфрама, платины или платиносодержащих сплавов. Травление проволоки-заготовки проводят в ячейке, в которой ее поляризуют с помощью противоэлектрода в зазоре между двумя стеклянными капиллярами, надетыми на конец проволоки-заготовки. За счет дополнительного веса толстостенного стеклянного капилляра и возникающего гравитационного воздействия на перетравливаемое образующее жало иглы обеспечивается мгновенный отрыв иглы, прекращающий ее травление, и обеспечивается максимальная острота ее жала. Техническая задача изобретения - предотвращение дотравливания жала иглы с использованием для этого доступного неядовитого электролита, а также обеспечение точного электрохимического контроля за процессами травления. 2 н. и 12 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента