Государственное учреждение Физико-технический институт Уральского отделения Российской Академии Наук ФТИ УрО РАН (RU)
Изобретатели:
Баянкин Владимир Яковлевич (RU) Быстров Сергей Геннадьевич (RU) Жихарев Александр Владимирович (RU)
Патентообладатели:
Государственное учреждение Физико-технический институт Уральского отделения Российской Академии Наук ФТИ УрО РАН (RU)
Реферат
Изобретение относится к химической силовой микроскопии (ХСМ) и может использоваться для усиления химического контраста изображений, полученных при помощи атомного силового микроскопа, за счет физико-химической модификации игл зондов. Способ модификации зондов для химической силовой микроскопии заключается в том, что зонд, помещенный в реактор, обрабатывают низкотемпературной плазмой неорганических (например, остаточный воздух, азот) газов или органических (например, октан) газов. Плазма возбуждается переменным электромагнитным полем, преимущественно высокочастотного диапазона (10 МГц - 100 МГц) или постоянным током с вариацией полярности. При этом на всей поверхности зонда формируется равномерное плазмополимеризованное покрытие. Технической результат - создание простого и эффективного способа модификации химической структуры поверхности игл стандартных зондов для атомной силовой микроскопии. 7 з.п. ф-лы, 19 ил.