RU 2121131 C1, 27.10.1998. RU 2207503 C2, 27.06.2003. RU 2158899 C1, 10.11.2000. JP 9297017 A, 18.11.1997. JP 2004132745 A, 30.04.2004. US 6664532 B2, 16.12.2003. JP 2001108599 A, 20.04.2001. US 6016684 A, 25.01.2000.
Имя заявителя:
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Национальный исследовательский университет (МИЭТ) (RU)
Изобретатели:
Алексеев Николай Васильевич (RU) Боргардт Николай Иванович (RU) Маляров Антон Андреевич (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Национальный исследовательский университет (МИЭТ) (RU)
Реферат
Изобретение относится к области электронной микроскопии, а точнее к устройствам, обеспечивающим калибровку предметных столиков растровых электронных микроскопов в широком диапазоне перемещений. Изобретение представляет собой структуру, состоящую из основания и расположенного на нем упорядоченного массива микроструктур в виде выступов, размещенных так, что в каждой строке каждый n-й элемент заменен пустым пространством, а в каждой следующей строке замененный элемент смещен на одну позицию, число n может быть от 3 до 10 в зависимости от размеров микроструктур. Наличие замененных на пустое пространство элементов создает в массиве микроструктур наклонные полосы, используемые при калибровке тестовой структуры и предметного столика. Технический результат - использование такой тестовой структуры позволяет с большой точностью калибровать предметные столики, определить среднюю величину заданного шага перемещения столика и неопределенность шага перемещения. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента