A.A.Bukharaev, N.V.Berdunov, D.V.Ovchinnikov, K.M.Salikhov. Threedimensional probe and surface reconstruction for atomy force microscopy using deconvolution algoithm. Scanning microscopy. v.12, 1, 1998 (p.225-234). Chicago: AMF, 1998. JP 2006308312 A, 09.11.2006. RU 2296387 C1, 27.03.2007. WO 2004/099712 A2, 18.11.2004. US 2005/081608 A1, 21.04.2005. US 5591903 A, 07.01.1997.
Имя заявителя:
Институт прикладной математики им. М.В. Келдыша РАН (RU), Карташев Владимир Алексеевич (RU), Карташев Всеволод Владимирович (RU)
Изобретатели:
Карташев Владимир Алексеевич (RU) Карташев Всеволод Владимирович (RU)
Патентообладатели:
Институт прикладной математики им. М.В. Келдыша РАН (RU) Карташев Владимир Алексеевич (RU) Карташев Всеволод Владимирович (RU)
Реферат
Изобретение относится к нанотехнологиям, электронике, приборостроению и может использоваться для работы с зондовым микроскопом. Согласно способу, проводят сканирование калибровочной поверхности. Определяют форму и размеры конца иглы с использованием модели взаимодействия иглы с калибровочной поверхностью. В качестве калибровочной поверхности используют поверхность, которая содержит элементы всех размеров, которые могут быть зарегистрированы зондовым микроскопом с исследуемой иглой. При сканировании записывают параметры работы микроскопа, которые характеризуют физические условия взаимодействия иглы с поверхностью. Формируют набор моделей формы острия иглы, для каждой из которой строят модель рельефа с учетом физических условий взаимодействия иглы и поверхности. В качестве формы и размеров острия исследуемой иглы выбирают ту форму и размеры острия той модели, для которой в наибольшей степени наблюдается соответствие упомянутым физическим условиям процесса сканирования. Заявленный способ позволяет измерять форму и размеры острия иглы, нанометровой величины, например, для игл, которые используются в туннельном микроскопе. 2 з.п. ф-лы, 6 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента