RU 2308414 С1, 20.10.2007. US 5920067 А, 06.07.1999. US 6429425 В1, 06.08.2002. US 2005/017162 А1, 27.01.2005.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (RU), Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии имени Д.И.Менделеева" (ФГУП "ВНИИМ им Д.И.Менделеева") (RU)
Изобретатели:
Бобринецкий Иван Иванович (RU) Неволин Владимир Кириллович (RU) Суханов Валерий Николаевич (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (RU) Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии имени Д.И.Менделеева" (ФГУП "ВНИИМ им Д.И.Менделеева") (RU)
Реферат
Изобретение относится к области туннельной и атомно-силовой микроскопии, а точнее к устройствам, обеспечивающим градуировку сканирующих зондовых микроскопов (СЗМ) на нанометровом уровне. Изобретение представляет собой структуру, состоящую из основания и расположенных на нем нанотрубок с известными геометрическими и физическими параметрами и фуллеренов С60, образующих на поверхности основания отдельную однослойную пространственно ограниченную пленку. Технический результат - использование нанотрубок, являющихся идеальными цилиндрическими объектами наноразмерного диаметра, позволяет использовать тестовую структуру для точного определения радиуса закругления острия иглы как в атомно-силовом, так и туннельном микроскопах. Использование однослойных пленок фуллеренов С60 позволяет иметь на тестовой структуре меру длины для вертикального и латеральных перемещений острия зонда относительно основания с известной точностью. 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента