Schitter G., Allgower F., Stemmer A. "A new control strategy for high-speed atomic force microscopy" // Nanotechnology 15 (2004), p.108-114. RU 2356110 C2, 20.05.2009. JP 2006-242965 A, 14.09.2006. JP 2004-340772 A, 02.12.2004. JP 2004-069445 A, 04.03.2004.
Имя заявителя:
Закрытое акционерное общество "Нанотехнология МДТ" (RU)
Изобретатели:
Быков Виктор Александрович (RU) Быков Андрей Викторович (RU) Котов Владимир Валерьевич (RU) Маловичко Иван Михайлович (RU) Остащенко Артем Юрьевич (RU) Леесмент Станислав Игоревич (EE)
Патентообладатели:
Закрытое акционерное общество "Нанотехнология МДТ" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии, преимущественно атомно-силовой микроскопии, и может быть использовано для измерений размеров нанообъектов и рельефа поверхностей, имеющих перепад высот наноразмера. Сущность изобретения заключается в том, что в способе измерения рельефа и свойств поверхности для сканирующего зондового микроскопа сканирование осуществляют в направлении, параллельном поверхности образца по заданной траектории, данные регистрируют при прямом или обратном проходе, а для формирования сигнала, управляющего перпендикулярными поверхности образца перемещениями, используют массив значений управляющего сигнала, снятый на предыдущей строке сканирования, совместно с массивом значений сигнала ошибки рассогласования, умноженным на калибровочный коэффициент. Технический результат - повышение скорости сканирования и уменьшение погрешности измерения. 11 з.п. ф-лы, 8 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента