

	Главная Патентный отдел Технологии Справочник ГРНТИ Прием Наши координаты Обратная связь

Поиск патентов

Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

Патентный отдел

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ СКАНИРОВАНИЯ НА СКАНИРУЮЩЕМ ЗОНДОВОМ МИКРОСКОПЕ И ФОРМИРОВАНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ

Номер публикации патента: 2462726

Вид документа:	C2
Страна публикации:	RU
Рег. номер заявки:	2010141753/28

Получить полное описание патента

Редакция МПК:	6
Основные коды МПК:	G01Q070/00 B82B003/00
Аналоги изобретения:	RU 70373 U1, 20.01.2008. RU 2145055 C1, 27.01.2000. RU 2334214 C2, 20.09.2008. JP 2010044063 A, 25.02.2010. US 6810354 B1, 26.10.2004.

Имя заявителя:	Государственное научное учреждение "Институт тепло- и массообмена имени А.В. Лыкова Национальной академии наук Беларуси" (BY)
Изобретатели:	Чижик Сергей Антонович (BY) Худолей Андрей Леонидович (BY)
Патентообладатели:	Государственное научное учреждение "Институт тепло- и массообмена имени А.В. Лыкова Национальной академии наук Беларуси" (BY)

Реферат

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля и изучения свойств наклонных участков структурных элементов, находящихся на подложке. Сканирование поверхности образца выполняют раздельно для двух участков - поверхности подложки и поверхности структурного элемента, находящегося на подложке, без переустановки образца. Формирование изображения поверхности структурного элемента осуществляют путем вычитания постоянного наклона, определенного по результатам сканирования поверхности подложки. Способ позволяет установить величину наклона поверхности структурного элемента относительно поверхности подложки, что повышает точность проводимых измерений. 4 ил.

Вернуться к списку

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь

Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"