RU 2005102703 А, 20.08.2005. US 2006230474 A1, 12.10.2006. JP 2001296229 A, 26.10.2001. US 5172002 A, 15.12.1992.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского" (RU), ООО "Лапик" (RU)
Изобретатели:
Усанов Дмитрий Александрович (RU) Скрипаль Александр Владимирович (RU) Лаптев Александр Григорьевич (RU) Лаптев Александр Александрович (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского" (RU) ООО "Лапик" (RU)
Реферат
Изобретение относится к электронно-измерительной технике и нанотехнологиям и предназначено в том числе для использования со сканирующим зондовым микроскопом (СЗМ) при исследовании микро- и нанорельефа поверхности. СЗМ содержит виброизоляционное основание, средство привода точного позиционирования, обеспечивающее детектируемое взаимодействие между зондом и образцом, механизм детектирования зонда и механизм обратной связи, обеспечивающий регулирование расстояния, отделяющего зонд и образец, а также шестиосевую механическую систему сближения и позиционирования, программируемый блок управления измерением и перемещением, измерительный датчик с механизмом обратной связи. Технический результат - расширение функциональных возможностей СЗМ за счет обеспечения возможности работы микроскопа с образцами большого размера и сложной формы путем требуемого для исследования позиционирования образца и измерения расстояния между зондом и образцом. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента