Закрытое акционерное общество "Институт прикладной нанотехнологии" (RU), Фонд Сальваторе Мауджери Клиника Труда и Реабилитации (IT), СИБ Лэборетрис Лимитед (MT)
Изобретатели:
Беклемышев Вячеслав Иванович (RU) Мауджери Умберто Орацио Джузеппе (IT) Соколов Дмитрий Юрьевич (RU) Ефимов Антон Евгеньевич (RU) Махонин Игорь Иванович (RU) Абрамян Ара Аршавирович (RU) Солодовников Владимир Александрович (RU)
Патентообладатели:
Закрытое акционерное общество "Институт прикладной нанотехнологии" (RU) Фонд Сальваторе Мауджери Клиника Труда и Реабилитации (IT) СИБ Лэборетрис Лимитед (MT)
Реферат
Устройство предназначено для исследования поверхности образцов после модификации их поверхности. Сканирующий зондовый микроскоп с нанотомом включает базовый элемент, на котором установлен держатель пуансона с пуансоном, сопряженный с первым приводом, держатель образца с образцом, сопряженный со вторым приводом, и сканирующий блок, имеющий возможность сопряжения с образцом. Первый привод выполнен однокоординатным (координата Y), перемещающим пуансон по направлению в сторону образца. Второй привод выполнен однокоординатным (координата X), перемещающим держатель образца с образцом перпендикулярно координате Y. Технический результат - повышение точности измерения, расширение функциональных возможностей устройства. 20 з.п. ф-лы, 18 ил.