US 2006061372 A1, 23.03.2006. US 6218632 В1, 17.04.2001. DE 102004039924 A1, 23.02.2006. RU 2186400 С1, 01.03.2001.
Имя заявителя:
НОРСРОП ГРУМАН ЛИТЕФ ГМБХ (DE)
Изобретатели:
ШПАХЛИНГЕР Гюнтер (DE)
Патентообладатели:
НОРСРОП ГРУМАН ЛИТЕФ ГМБХ (DE)
Приоритетные данные:
15.06.2007 DE 102007027652.6
Реферат
Изобретение относится к способу эксплуатации емкостного микроэлектромеханического датчика. Датчик содержит по меньшей мере один дифференциальный конденсатор, образованный двумя неподвижными электродами, между которыми упруго подвешен с возможностью смещения под действием внешней силы, которое может быть измерено, и подвижный центральный электрод. Способ эксплуатации емкостного датчика, согласно которому между неподвижными электродами и центральным электродом прикладывают одинаковые, но противоположно направленные возбуждающие напряжения, а отклонение центрального электрода измеряют, при этом компенсируют часть заряда, которая может быть снята с центрального электрода и которая соответствует электростатической восстанавливающей силе и именуется помехой восстановления. Технический результат - значительное повышение точности микроэлектромеханического датчика. 2 н. и 12 з.п. ф-лы, 12 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента