US 5331854 А, 26.07.1994. ПАРШИН В.Ф. и др. Особенности технологии мультисенсорных датчиков с нелегированными упругими подвесами. Датчики и системы, 2(33), 2002, с.22-24. РАСПОПОВ В.Я. Микромеханический акселерометр прямого преобразования: математическая модель и частотные характеристики. Датчики и системы, 8, 2002, с.5-10. RU 2162229 С1, 20.01.2001. US 5261277 А, 16.11.1993.
Имя заявителя:
Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") (RU), Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский Федеральный Ядерный Центр - Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Технической Физики имени академика Е.И. Забабахина" (ФГУП "РФЯЦ-ВНИИТФ им. академ. Е.И. Забабахина") (RU)
Изобретатели:
Крестьянинов Александр Анатольевич (RU) Смирнов Геннадий Григорьевич (RU)
Патентообладатели:
Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") (RU) Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский Федеральный Ядерный Центр - Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Технической Физики имени академика Е.И. Забабахина" (ФГУП "РФЯЦ-ВНИИТФ им. академ. Е.И. Забабахина") (RU)
Реферат
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к датчикам навигационных систем, измеряющим ускорение. Акселерометр содержит чувствительный элемент, состоящий из подвижной инерционной массы, упругого подвеса, резонатора и основания, а также систему возбуждения и съема частотного сигнала. Чувствительный элемент выполнен из единой пластины, разделенной сквозными пазами на основание, инерционную массу с упругим подвесом и резонатор, состоящий из двух или трех ветвей, которые соединены свободными концами, а основаниями закреплены на инерционной массе и основании чувствительного элемента таким образом, что при действии измеряемого ускорения перемещение инерционной массы приводит к изменению изгибной жесткости резонатора и, соответственно, частоты его колебаний. Техническим результатом является повышение технологичности изготовления. 11 з.п. ф-лы, 18 ил.