|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ИНТЕГРАЛЬНЫЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ГИРОСКОП - АКСЕЛЕРОМЕТР |  |
Номер публикации патента: 2351897 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01C019/56 G01P015/14 | | Аналоги изобретения: | PLANI A.S. et al. Coupling of resonant modes in micromechanical vibratory rate gyroscopes, NSTI-Nanotech 2004, v.2, p.335. RU 2293338 C1, 10.02.2007. RU 2279092 C1, 27.06.2007. RU 2162229 С1, 20.01.2001. JP 2006205353 A, 10.08.2006. JP 2006231506 A, 07.09.2006. |
| Имя заявителя: | Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "ЮЖНЫЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ" (ЮФУ) (RU) | | Изобретатели: | Коноплев Борис Георгиевич (RU)
Лысенко Игорь Евгеньевич (RU)
Шерова Елена Викторовна (RU) | | Патентообладатели: | Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "ЮЖНЫЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ" (ЮФУ) (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области измерительной техники и микросистемной техники, а более конкретно к интегральным измерительным элементам величин угловой скорости и ускорения. Устройство содержит инерционную массу, расположенную с зазором относительно подложки, на которой расположены планарные неподвижные электроды, два неподвижных электрода с гребенчатыми структурами с одной стороны, а также два подвижных электрода электростатических приводов, выполненных из полупроводникового материала в виде пл
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента