Датчик скорости вращения содержит подложку и две структуры (100, 200, 300, 400, 500, 600), выполненные с возможностью перемещения относительно подложки на рабочей плоскости (х-y). Две подвижные структуры (100, 200, 300, 400, 500, 600) соединены, чтобы формировать связанную структуру, такую, что она имеет первую моду колебаний с отклонениями в противофазе подвижных структур в первом направлении (х) на рабочей плоскости (х-y) в качестве моды возбуждения и вторую моду колебаний в качестве моды детектирования, которая может быть возбуждена ускорениями Кориолиса при возбуждении первой моды колебаний и при вращении относительно оси (z) чувствительности датчика скорости вращения которая расположена под прямым углом к рабочей плоскости (х-y) датчика скорости вращения. Связанная структура выполнена таким образом, что при идеальных предварительных условиях в ней отсутствует мода колебаний, которая может быть возбуждена линейными ускорениями датчика скорости вращения в направлении, параллельном второй оси. Изобретение позволяет избежать ошибок измерения, возникающих на основе подвижных отдельных структур (100, 200, 300, 400, 500, 600) в случае датчиков скорости вращения при возникновении линейных ускорений. 12 з.п. ф-лы, 8 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента