РАСПОПОВ В.Я. Микромеханические приборы. Учебное пособие. - М.: Машиностроение, 2007, с.53, 59. RU 2300773 С1, 10.06.2007. JP 3041367 А, 21.02.1991. US 5679888 А, 21.10.1997. ALPER S.E. et al. A Planar Gyroscope Using a Standard Surface Micromachining Process, The 14th European Conference on Solid-State Transducers (EUROSENSORS XIV), 2000, p.387.
Имя заявителя:
Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирский федеральный университет" (СФУ) (RU)
Изобретатели:
Маринушкин Павел Сергеевич (RU) Левицкий Алексей Александрович (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирский федеральный университет" (СФУ) (RU)
Реферат
Изобретение относится к области микросистемной техники, в частности к приборам для измерения величины угловой скорости. Гироскоп содержит подложку и инерционную массу, расположенные с зазором относительно друг друга, два гребенчатых электрода электростатических приводов, а также три пары электродов, образующих туннельные контакты, используемые в качестве преобразователей перемещений, при этом один электрод каждой пары расположен на инерционной массе, а другой - на подложке, и четыре вспомогательных электрода, расположенных на подложке с возможностью электростатического взаимодействия с инерционной массой. Изобретение позволяет измерять величины угловой скорости вокруг оси Y, расположенной в плоскости подложки, и вокруг оси Z, направленной перпендикулярно плоскости подложки интегрального микромеханического гироскопа, а также повысить точность измерения угловой скорости. 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента