На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ИНТЕГРАЛЬНЫЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ГИРОСКОП НА ОСНОВЕ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК | |
Номер публикации патента: 2304273 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G01C019/56 G01P009/04 | Аналоги изобретения: | PLANI A.S. et al. Coupling of Resonant Modes in Micromechanical Vibratory Rate Gyroscopes, NSTI-Nanotech 2004, v.2, 2004, p.335, fig.1. РАСПОПОВ В.Я. Микромеханические приборы: Учебное пособие/ Тул. Гос. Университет. - Тула, 2002, с.32, рис.1.2б. RU 2266521 С1, 20.12.2005. WO 2005095997 А1, 13.10.2005. US 6327907 В1, 11.12.2001. |
Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Таганрогский государственный радиотехнический университет" (ТРТУ) (RU) | Изобретатели: | Коноплев Борис Георгиевич (RU) Лысенко Игорь Евгеньевич (RU) Федотов Александр Александрович (RU) | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Таганрогский государственный радиотехнический университет" (ТРТУ) (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области измерительной техники и микросистемной техники, а именно к интегральным измерительным элементам величины угловой скорости. При возникновении вращения полупроводниковой подложки 1 вокруг оси, расположенной в плоскости подложки, инерционные массы 28 и 30 начинают колебаться в плоскости, перпендикулярной подложке, за счет кручения торсионной балки 29.
|