Журнал «Компоненты и технологии», 3 2006. SU 1226014 А1, 23.04.1986. US 5834646 А1, 10.11. 1998. US 6293150 B1, 25.09. 2001. JP 0001424561 A3, 02.06.2004. US 4945773, 04.08.1990.
Имя заявителя:
ХЬЮЛЕТТ-ПАККАРД ДИВЕЛОПМЕНТ КОМПАНИ, Л.П. (US)
Изобретатели:
ХАРТУЭЛЛ Питер Джордж (US) УОМЗЛИ Роберт Г. (US)
Патентообладатели:
ХЬЮЛЕТТ-ПАККАРД ДИВЕЛОПМЕНТ КОМПАНИ, Л.П. (US)
Реферат
Настоящее изобретение относится к электронным измерительным устройствам и, в частности, к емкостному датчику, способу детектирования и способу изготовления такого датчика. Техническим результатом является повышение чувствительности датчика, обеспечение детектирования в двух направлениях и обеспечение широкого динамического диапазона измерений. Технический результат достигается тем, что емкостной датчик включает в себя два набора электродов переменного конденсатора, расположенные соответствующим образом на плоской опорной поверхности, и контрольную массу, которая имеет возможность эластичного смещения вдоль первой оси, по существу параллельной плоской опорной поверхности. Первый набор электродов формирует высокоточное периодическое изменение емкости в диапазоне смещения контрольной массы вдоль оси, а второй набор электродов обеспечивает показание абсолютного положения на периодической кривой изменения емкости в диапазоне смещения вдоль оси. 3 н. и 17 з.п. ф-лы, 12 ил.