Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Омский государственный технический университет" (RU)
Изобретатели:
Кировская Ираида Алексеевна (RU) Буданова Елена Михайловна (RU) Юрьева Алла Владимировна (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Омский государственный технический университет" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области газового анализа, в частности к детектирующим устройствам, применяемым для регистрации и измерения содержания микропримесей аммиака и других газов. Газовый датчик согласно изобретению содержит полупроводниковое основание, выполненное из поликристаллической пленки селенида цинка, и подложку, при этом подложкой служит электродная площадка пьезокварцевого резонатора. Изобретение обеспечивает повышение чувствительности датчика и технологичность его изготовления. 3 ил.