RU 2217739 C1, 27.11.2003. RU 2120626 C1, 20.10.1998. RU 2109278 C1, 20.04.1998. US 7100421 B1, 05.09.2006. US 6225633 B1, 01.05.2001. US 5767683 A, 16.06.1998.
Имя заявителя:
Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Санкт-Петербургский государственный университет (RU), Общество с ограниченной ответственностью "Спектр-Микро" (RU)
Изобретатели:
Кудрявцев Анатолий Анатольевич (RU) Цыганов Александр Борисович (RU) Чирцов Александр Сергеевич (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Санкт-Петербургский государственный университет (RU) Общество с ограниченной ответственностью "Спектр-Микро" (RU)
Реферат
Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано для определения состава газовых смесей. Изобретение позволяет производить качественный и количественный анализ широкого класса веществ, находящихся в газовой фазе в большом диапазоне давлений вплоть до атмосферного и выше, в стационарной газоразрядной плазме. Сущность изобретения: способ определения состава газовых примесей в основном газе заключается в том, что создают газоразрядную плазму, ограниченную катодом, анодом и стенками, давление основного газа и пространственную конфигурацию электродов и стенок выбирают так, чтобы расстояние от любой точки внутри плазмы до ближайшей поверхности анода или стенки было меньше средней длины перемещения электронов до момента потери заданной доли кинетической энергии, определяют количество электронов с характеристическими значениями энергии, возникающих при ионизации указанных атомов или молекул примеси, судят о составе примесей по параметрам этих электронов, при этом поддерживают стационарный режим горения плазмы и измеряют величину тока на, по крайней мере, одном дополнительном электроде, установленном в ионизационной камере в прианодной области, в зависимости от изменяемого отрицательного напряжения, приложенного между указанным электродом и анодом, количество электронов с характеристическими значениями энергии определяют обработкой измеряемой зависимости тока на дополнительный электрод от приложенного напряжения. 2 н. и 20 з.п. ф-лы, 4 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента