На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДАТЧИКА ДЛЯ АНАЛИЗА СЕРОВОДОРОДА В ГАЗОВОЙ СРЕДЕ | |
Номер публикации патента: 2231053 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G01N027/02 | Аналоги изобретения: | RU 2073853 С1, 20.02.1997. RU 2175127 С1, 20.10.2001. RU 2184957 С1, 10.07.2002. US 4822464 А, 18.04.1989. |
Имя заявителя: | Вологодский государственный технический университет (RU) | Изобретатели: | Федоров М.И. (RU) Бабкин А.Н. (RU) | Патентообладатели: | Вологодский государственный технический университет (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к полупроводниковой сенсорной технике. Технический результат изобретения - снижение рабочей температуры датчика, упрощение технологии изготовления. Сущность: способ включает напыление газочувствительного слоя фталоцианина меди на монокристаллическую пластинку из арсенида галлия и его легирование кислородом в низком вакууме.
|