|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ГАЗОВЫЙ АНАЛИЗАТОР |  |
Номер публикации патента: 2059231 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G01N027/12 | | Аналоги изобретения: | 1. Заявка ЕР N 0141089, кл. G01N 27/02, 1985. 2. Полупроводниковые газовые детектеры. Polodisove detektory rlunu., Siroky Harel, Sb VSCH Praze, 1983, р. 6,79 - 103. 3. U. Dibberi, a Substrate for Thiu - Film Gas Sensors in Microelectronic Technology. - Sensors and Actuators. В. 2, 1990, 63 - 70. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт измерительных систем | | Изобретатели: | Виноградов А.С.
Гусев В.К.
Морозова Л.М. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт измерительных систем |
Реферат | |
Использование: для анализа различных газов. Сущность изобретения: газовый анализатор содержит кремниевую пластину, на которой последовательно сформированы слои оксида и нитрида кремния, слой нагревателя, слой диэлектрика и газочувствительный слой. Нагреватель выполнен в виде решетки с линейными размерами элементов, равными длине волны ИК-излучения, соответствующей максимуму поглощения молекул анализируемого газа. 1 ил., 2 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента