|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЗАМЫКАНИЙ В МНОГОСЛОЙНОЙ СТРУКТУРЕ ИЗ ЧЕРЕДУЮЩИХСЯ МЕЖДУ СОБОЙ ПРОВОДЯЩИХ И ИЗОЛИРУЮЩИХ СЛОЕВ |  |
Номер публикации патента: 2024861 |  |
| Редакция МПК: | 5 | | Основные коды МПК: | G01N027/20 G01R031/02 G01R031/06 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 115385, кл. G 01R 31/06, 1957. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт электронных вычислительных машин (BY) | | Изобретатели: | Кузьменок Александр Григорьевич[BY] | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт электронных вычислительных машин (BY) |
Реферат | |
Сущность: способ состоит в подаче переменного напряжения высокой частоты, обеспечивающей емкостный характер комплексного сопротивления моделей, на две модели многослойной структуры без дефектов с крайними значениями технологического разброса соотношения толщин проводящих и изолирующих слоев с подключением к каждой модели активного сопротивления, измеряют максимальное и минимальное значения суммарного тока через модели и активное сопротивление, причем величину активного сопротивления выбирают такой, чтобы амплитуда тока, протекающего через это сопротивление, имело тот же порядок, что и амплитуда тока через модели, подключая к активному сопротивлению вместо модели контролируемую структуру, измеряют суммарный ток через активное сопротивление и контролируемую структуру, причем считают, что в структуре нет замыканий, если значение измеренного суммарного тока находится в границах максимального и минимального суммарных токов модели. Способ позволяет повысить точность. 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента