JP 2004138460 A, 13.05.2004. US 7170969 В1, 30.01.2007. DE 19527794 А1, 23.01.1997. US 5044001 A, 27.08.1991. RU 2239822 C2, 10.11.2004. SU 1630563 A1, 20.02.2000.
Имя заявителя:
Федеральное государственное унитарное предприятие Экспериментальный завод научного приборостроения со Специальным конструкторским бюро Российской академии наук (RU)
Изобретатели:
Гелевер Владимир Дмитриевич (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное унитарное предприятие Экспериментальный завод научного приборостроения со Специальным конструкторским бюро Российской академии наук (RU)
Реферат
Использование: для рентгеновской и электронной микроскопии. Сущность: заключается в том, что рентгеновский микроскоп наноразрешения на разборной трубке содержит электронную пушку с системой электронных линз, отклоняющие системы, мишень из тонкого слоя металла на прозрачной для рентгена подложке, координатно-чувствительный рентгеновский детектор, при этом в объективной линзе дополнительно имеется изолированный электрод, на который подается положительный вытягивающий потенциал, а в пространстве между двумя последними линзами размещен детектор вторичных электронов, состоящий из отклоняющей сетки, сцинтиллятора и фотоэлектронного умножителя. Технический результат: повышение разрешения рентгеновского микроскопа, повышение производительности, и обеспечение дополнительной возможности исследования объектов во вторичных и отраженных электронах с высоким разрешением. 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента