A.Jablonski, Quantification of surface-sensitive electron spectroscopies, Surface Science 603, 2009, p.1342-1352. SU 1117506 A1, 07.10.1984. SU 1272198 A1, 23.11.1986. JP 2000249668 A, 14.09.2000. JP 7012762 A, 17.01.1995. US 4302285 A, 24.11.1981.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)" (RU)
Изобретатели:
Барченко Владимир Тимофеевич (RU) Лучинин Виктор Викторович (RU) Пронин Владимир Петрович (RU) Хинич Иосиф Исаакович (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)" (RU)
Реферат
Использование: для определения концентрации элементов в приповерхностном слое твердого тела. Сущность заключается в том, что осуществляют облучение поверхности твердого тела первичным пучком электронов, регистрируют энергетический спектр электронов, вышедших из твердого тела, при этом последовательно облучают поверхность твердого тела с известным элементным составом пучком электронов с пошагово увеличивающейся энергией в диапазоне (100-10000) эВ и при каждом значении энергии регистрируют абсолютные значения дифференциального коэффициента упругого отражения электронов в диапазоне углов рассеяния 90-180° при количестве углов, соответствующем количеству элементов в твердом теле, далее рассчитывают средние значения концентраций элементов в зоне выхода и ее глубину, и на основании этих результатов определяют распределения концентраций элементов по глубине поверхностного слоя твердого тела. Технический результат: обеспечение возможности определения концентрации элементов с разрешением по глубине в нанометровом диапазоне без разрушения анализируемого слоя. 2 табл., 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента