SU 640137 А, 20.02.1979. JP 2007232550 А, 13.09.2007. US 6449043 B2, 10.09.2002. D.E.ASPNES, P.S.HAUGE. Rotating-compensator/analyser fixed-analyzer ellipsometer: Analysis and comparision to other automatic ellipsometers. J. Opt. Soc. Am., v.66, No 9, September 1976, 949-954. US 5191387 A, 02.03.1993. US 7355708 B2 08.04.2008. US 6831743 В2, 14.12.2004.
Имя заявителя:
Общество с ограниченной ответственностью "Поларлайт" (RU)
Изобретатели:
Гуревич Алексей Сергеевич (RU)
Патентообладатели:
Общество с ограниченной ответственностью "Поларлайт" (RU)
Реферат
Измерение относится к области оптико-физических измерений, а именно к эллипсометрии и поляриметрии. Способ измерения состояния поляризации светового луча включает последовательное пропускание исходного светового луча через непрерывно или пошагово вращаемый первый компенсатор (1), через непрерывно или пошагово вращаемый второй компенсатор (2) и через линейный поляризатор (3). Измеряют интенсивность прошедшего через линейный поляризатор (3) светового луча в зависимости от ориентации быстрых осей первого и второго компенсаторов (1) и (2) по меньшей мере, при одном положении оси линейного поляризатора (3). Определяют состояние поляризации светового луча, характеризуемого 4 параметрами Стокса, по результатам Фурье-анализа угловой зависимости интенсивности прошедшего через линейный поляризатор (3) светового луча. Изобретение обеспечивает расширение рабочего спектрального диапазона. 11 з.п. ф-лы, 4 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента