WO 2007/018163 A1, 15.02.2007. RU 2396545 C1, 10.08.2010. US 6731386 B2, 04.05.2004. US 6465265 В2, 15.10.2002. SU 1226042 A, 23.04.1986. US 6515746 B2, 04.02.2003.
Имя заявителя:
Учреждение Российской академии наук Институт химии твердого тела Уральского отделения РАН (RU)
Изобретатели:
Акашев Лев Александрович (RU) Шевченко Владимир Григорьевич (RU) Кочедыков Виктор Анатольевич (RU) Попов Николай Александрович (RU)
Патентообладатели:
Учреждение Российской академии наук Институт химии твердого тела Уральского отделения РАН (RU)
Реферат
Изобретение относится к области оптико-физических измерений, основанных на эллипсометрии, и предназначено для определения толщины тонких прозрачных пленок. Способ заключается в измерении эллипсометрических параметров и с последующим фиксированием результатов измерения в плоскости в виде кривой, при этом у предварительно спрессованного металлического порошка определяют эллипсометрические параметры и , результаты измерений которых наносят на плоскость, в которой расположены кривые, содержащие фиксированные результаты измерения эллипсометрических параметров и порошка соответствующего металла, предварительно спрессованного, с заранее заданными оптическими параметрами, полученные с использованием ряда значений заданных оптических параметров упомянутого порошка, задаваемых изменением величины объемной доли активного металла с определенным шагом. Изобретение позволяет определять оксидной пленки, образующейся на поверхности порошка металла, а также объемную долю активного металла. 4 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента