SU 1784868 A1, 30.12.1992. SU 1771532 A3, 23.10.1992. SU 1741032 A1, 15.06.1992. JP 2005114615 A, 28.04.2005.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Самарский государственный аэрокосмический университет им. академика С.П. Королева (RU), Учреждение Российской академии наук Институт систем обработки изображений РАН (ИСОИ РАН) (RU)
Изобретатели:
Сойфер Виктор Александрович (RU) Казанский Николай Львович (RU) Колпаков Всеволод Анатольевич (RU) Колпаков Анатолий Иванович (RU) Подлипнов Владимир Владимирович (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Самарский государственный аэрокосмический университет им. академика С.П. Королева (RU) Учреждение Российской академии наук Институт систем обработки изображений РАН (ИСОИ РАН) (RU)
Реферат
Изобретение относится к измерительной технике в области микроэлектроники и предназначено для измерения чистоты поверхности подложек. Способ заключается, в том, что наносят каплю жидкости на поверхность исследуемой подложки. Далее освещают ее потоком света с равномерным распределением интенсивности по сечению светового потока. Потом фиксируют интенсивность светового потока фотоприемной матрицей, с помощью которой определяют параметры растекания капли жидкости. И проводя сравнение полученных параметров с эталонными судят о чистоте поверхности подложки. В качестве параметра контроля степени чистоты используют длину канала смачиваемости и его ширину при условии выполнения неравенства 16°<<56°, где угол наклона поверхности подложки к горизонту. При этом строят эталонную зависимость параметров растекания капли жидкости от чистоты поверхности подложки, нанесением на которую численных значений ширины или длины канала смачиваемости определяют численное значение чистоты поверхности подложки. Целью предложенного изобретения является повышение точности измерения чистоты поверхности подложки и увеличение производительности. 6 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента